Архив рубрики: МЕТОДЫ КОСВЕННЫХ ИЗМЕРЕНИЙ ДАВЛЕНИЯ

5.3. Косвенные методы, основанные на изменении физических свойств измеряемой среды

Для определения давления находят также применение методы, ос­нованные на зависимости от давления различных физических свойств жидкостей и газов и протекающих в них процессах. При этом были использованы результаты исследований влияния давления на плотность и вязкость, диэлектрическую проницаемость, скорость распространения ультразвука, теплопроводность и другие свойства измеряемой среды.

В области высоких и средних давлений указанные методы широкого распространения не получили в связи с их относительной сложностью и трудоемкостью по сравнению с другими методами (применение манга­нинового манометра сопротивления в области высоких давлений, пря­мые методы измерений в области средних давлений).

В области вакуумных измерений указанные методы применяются практически повсеместно. Зависимость теплопроводности разреженно­го газа от давления используется в тепловых" и термопарных маномет­рах; зависимость тока положительных ионов от измеряемого давле­ния — в ионизационных манометрах. Используется также зависимость от давления вязкости газа, кинетической энергии молекул, концентра­ции молекул и пр.

К контрольному вопросу № 9

Вы правильно ответили на вопрос. Метод косвенного из­мерения давления путем предварительного сжатия газа не зави­сит от манометра, которым измеряется давление сжатого газа.

Наибольшее распространение в вакуумной технике (около 70 %) получили термопарные и ионизационные манометры.

Термопарный манометр (рис. 54, а) так же, как и тепловой, основан на зависимости теплопроводности разреженного газа от давления. Мано­метр содержит стеклянную или металлическую колбу 3, в которой поме­щены нагреватель 1 и впаянная в него термопара 2. Нагреватель питается от источника переменного тока, и его температура, а следовательно, и температура термопары, определяется теплоотдачей в окружающий раз­реженный газ. Чем меньше давление газа, тем меньше его теплопровод­ность и тем больше температура, а следовательно, ЭДС на выходе термо­пары, которая и является мерой измеряемого давления. Шкала прибора 4 для измерения ЭДС градуируется, как правило, в единицах давления. Данный принцип наиболее эффективен при давлениях от 0,1 до 100 Па. При давлениях, меньших 0,1 Па, все большая доля тепла передается излу­чением, а при давлениях, больших 100 Па, увеличение теплопроводности газа резко замедляется. В обоих случаях существенно уменьшается чув­ствительность прибора. Погрешность измерений составляет 10—30 %. На градуировочную характеристику существенно влияет состав газа. Поэтому для уточнения показаний термопарного манометра необходима индивидуальная градуировка.

5.3. Косвенные методы, основанные на изменении физических свойств измеряемой среды

Принцип действия ио­низационного манометра основан на зависимости от давления тока положитель­ных ионов, образованных в результате ионизации раз­реженного газа. Ионизация газа осуществляется элект­ронами, ускоряемыми электрическим или магнит­ным полями, а также по­средством излучения ра­диоизотопов. При одном и том же количестве электро­нов, пролетающих через газ, или постоянной мощ­ности излучения степень ионизации газа пропорцио­нальна концентрации его молекул, т. е. измеряемо­му давлению.

Рис. 54. Термопарный манометр

В простейшем случае наиболее употребим иони­зационный манометр с го­рячим   катодом   (рис.  54,

б), содержащий стеклянную колбу 2, в которую впаяны анод 1 и катод 3. Благодаря разогреву катода источником постоянного тока 4, его по­верхность испускает электроны, которые разгоняются напряжением £/а
между катодом и анодом -и ионизируют находящийся между ними газ. Сила тока положительных ионов, измеряемая гальванометром 5, является мерой измеряемого давления

5.3. Косвенные методы, основанные на изменении физических свойств измеряемой средыгде к — постоянная, зависящая от конструкции прибора и состава газа. Для увеличения степени ионизации между катодом и анодом поме­щена сетка, на которую подается напряжение, сообщающее дополнитель­ное ускорение потоку электронов. Манометры этого типа охватывают диапазон от 10~7
до 1 Па, дополняя диапазон измерений термопарного манометра. Погрешности измерений составляют также 10—30 %.

Контрольный вопрос № 10

Зависят ли показания термопарного вакуумметра от физи­ческих свойств газов, давление которых необходимо измерить? Если „да" — см. с. 125, если „нет" — см. с. 127.

5.2. Косвенные методы, основанные на фазовых переходах

Известно, что любое вещество в зависимости от давления и темпера­туры может находиться в различных агрегатных состояниях (твердой, жидкой и газообразной фазах). Типовая диаграмма состояний в коорди­натах р и Т представлена на рис. 52. Кривыми линиями изображены гра­ницы между различными фазами (кривые равновесия фаз), соответству­ющие давлениям и температурам, при которых из одной фазы в другую переходит одинаковое число молекул. При этом кривая СК выражает

5.2. Косвенные методы, основанные на фазовых переходах

К

Рис. 52. Типовая диаграмма состояний

зависимость от температуры давления насыщенного пара над жидкостью; кривая АС — давления насыщенного пара над твердым телом, кривая ВС — температуры плавления от давления. Например, при давлении р\ и температуре Т1 будет наблюдаться равновесие твердой 1 и газообраз­ной 2 фаз. Если при той же температуре Тг давление понизить, то начнет­ся переход твердой фазы в газообразную. Этот процесс называется возгон­кой или сублимацией („сублимаре" — возносить). Аналогично на грани­це ВС происходит плавление твердой фазы (кристаллизация жидкой фа­зы 5), а на границе СК — кипение жидкой фазы (конденсация газообраз­ной фазы). Необходимо отметить также две особые точки. Тройная точ­ка С, находящаяся на пересечении всех трех кривых равновесия фаз, ха­рактеризует состояние вещества, когда находятся в равновесии одновре­менно твердая, жидкая и газообразная фазы. Критическая точка А" соот­ветствует критической температуре Тк и критическому давлению рк, при которых теряется всякое различие между жидкостью и ее паром, а граница между ними исчезает.

Указанные выше кривые равновесия фаз и тройная точка использу­ются в косвенных методах определения давления по результатам изме­рения температуры в равновесных точках (в области температурных измерений, наоборот, температура определяется по результатам измере­ния давления).

Диаграмма состояний дает наглядное представление о выборе того или иного фазового перехода в зависимости от определяемого давления. Кривая плавления ВС немного отклоняется от вертикали к оси абсцисс, т. е. температура плавления имеет небольшую чувствительность к давле­нию. Так, температура плавления льда изменяется на 1 К при изменении давления на 13 МПа (следует отметить, что в отличие от большинства веществ температура плавления льда понижается при повышении давле­ния — штриховая линия СВ на рис. 52). Поэтому кривые плавления ис­пользуются в косвенных методах определения высоких и сверхвысо­ких давлений. Процесс сублимации (кривая Л С) происходит, как прави­ло, при низких температурах и давлениях, что позволяет его использо­вать при определении давления в области вакуумных измерений. И, на­конец, фазовый переход жидкость—пар (кривая СК) наиболее удобен для области средних давлений. Помимо указанного, при выборе того или иного фазового перехода необходимо учитывать физические свой­ства применяемого вещества.

В области измерения высоких и сверхвысоких давлений его значение воспроизводится по кривой плавления ртути, полузмпирическое уравне­ние которой получают по результатам исследований сравнением с эталон­ным поршневым манометром. Это позволяет построить непрерывную шкалу давлений, по которой градуируются средства измерений высоких и сверхвысоких давлений низшей точности.

К контрольному вопросу № 9

Вы ответили неверно. В жидкостном манометре измеряе­мое давление определяется высотой столба жидкости. В ком­прессионном манометре измеряемое давление предварительно многократно увеличивается в отношении объема сосуда к объе­му капилляра (закон Бойля-Мариотта), что в основном н опре­деляет принцип действия прибора.

Прочтите более внимательно разд. 2.3.

В нашей стране (НПО „ВНИИФТРИ") разработана шкала давлений, основанная на кривой плавления ртути (КПР-83), которая охватывает диапазон давлений от 100 до 4000 МПа. Погрешность воспроизведения давления 0,05 % в диапазоне от 100 до 1500 МПа; 0,5 % — до 2500 МПа и 1%-до 4000 МПа.

Полученная точность полностью удовлетворяет в настоящее время потребности науки и техники. Значение шкалы передано группе образцо­вых манганиновых манометров сопротивления, погрешность которых составляет ±0,5 % при давлении до 2,5 ГПа и ±2 % при давлениях до 4 ГПа. В перспективе этот метод позволит создать эталон — свидетель го­сударственного эталона высоких давлений нашей страны.

В области средних давлений, где успешно применяются высокоточ­ные средства измерений, основанные на прямых методах, использование косвенных методов нецелесообразно. Однако представляет интерес по­лучивший распространение в первой половине нашего века простой спо­соб измерения атмосферного давления, основанный на фазовых перехо­дах „жидкость—пар" (кривая СК на рис. 52), который легко может быть продемонстрирован в любой, даже школьной, лаборатории.

Прибор — гипсотермометр (рис. 53) состоит из термометра 1, сосу­да с дистиллированной водой 2 и нагревателя 3. При кипячении воды в

5.2. Косвенные методы, основанные на фазовых переходах

сосуде давление насыщенных паров над ее поверхностью благодаря отверстиям на наружной стенке горловины вырав­нивается с давлением окружающего воз­духа. Взаимосвязь между давлением и температурой на кривой парообразова­ния наиболее полно отображается уни­версальным уравнением проф. М.К. Жо-ховского, которое охватывает весь про­цесс фазовых переходов жидкость—пар от тройной точки .до критической точки (см. рис. 52). Указанное уравнение при­менимо также для описания процессов плавления и сублимации. В узком диапа­зоне давлений (975—1025 гПа), в преде­лах которого находится атмосферное давление на равнинных местностях, для упрощенных расчетов применяют прос­тую формулу, принимая прямую пропор­циональность температуры кипения атмо­сферному давлению. Упрощенная форму­ла имеет вид

p=Po+k(t-to),          (5.10)

///7//////.

где t — температура кипения воды; t0 = = 100°С; ро = Ю13 гПа (760 мм рт.ст.); к = 35,5 гПа/°С (26,7 мм
рт.ст./°С).

Рис. 53. Гипсотермометр

Из формулы (5.10) следует, что по­грешность измерения температуры At = = 0,01°С приводит к погрешности изме­рения давления Ар = 0,4 гПа (0,3 мм рт.ст.). Это примерно соответству­ет точности ртутных барометров. Однако, учитывая приближенность уравнения (5.10), гипсотермометр необходимо проградуировать по об­разцовому барометру соответствующей точности (Ар < 0,1 мм рт.ст.). Следует также отметить, что в данном случае равновесие фаз в строгом понимании отсутствует, так как пары воды непрерывно рассеиваются в окружающее пространство.

5.1. Косвенные методы, основанные на уравнении состояния идеального газа

Связь между важнейшими термодинамическими параметрами газа определяется соотношением

-^-= const,                         (5.1)

т

где р — абсолютное давление газа; Т — абсолютная температура газа; V — объем, занимаемый газом.

Соотношение (5.1) называется объединенным газовым законом и формулируется следующим образом: при постоянной массе газа произ­ведение объема на давление, деленное на абсолютную температуру газа, есть величина, одинаковая для всех состояний этой массы газа.

Уравнениечюстояния для произвольной массы идеального газа (урав­нение Клайперона-Менделеева),имеет вид

pV=JO- -RT,                         (5.2)

где m — масса газа; ц — масса одного киломоля газа; R — универсальная газовая постоянная.

Для упрощения процесса измерения давления один из параметров со­стояния или V) сохраняется постоянным. Тогда давление однозначно определяется по результатам измерения V или Т. Например, при измере­нии изменений атмосферного давления в баронивелировании нашли при­менение газовые барометры, принцип действия которых основан на ис­пользовании уравнения состояния газа (5.1) при постоянной температу­ре. В этом случае уравнение (5.1) принимает вид (законБойля-Мариотта).

Pi Vi —P-lV-i = const,              (5.3)

т. е. при постоянной массе газа и неизменной температуре давление об­ратно пропорционально занимаемому газом объему.

Принципиальная схема газового барометра конструкции Штриплин-га изображена на рис. 50, а. Прибор состоит из двух камер, одна из кото­рых 2 может быть сообщена с атмосферным давлением, а другая 3 зам­кнута. Обе камеры связаны между собой капилляром, в середине кото­рого находится капля масла 1, выполняющая роль указателя нуля. При равенстве давлений в камерах капля устанавливается на нулевой отмет­ке. Равенство давлений достигается изменением объема камеры 3 посред­ством перемещения сильфона 4 с помощью винта и червячной передачи с отсчетом числа оборотов червяка по цифровому счетчику. При погреш­ности термостатирования 0,001° С изменения давления фиксируются с погрешностью менее 0,5 Па.

В соответствии с формулой (5.3) изменение давления по сравнению с давлением Во может быть определено из соотношения

5.1. Косвенные методы, основанные на уравнении состояния идеального газа

где ff0 — атмосферное давление в момент его подачи в камеру 2 (установка нуля) при предварительном уравновешивании; Vo — объем камеры 3 при давлении Во; AV — изменение объема камеры 3, необ­ходимое для достижения равновесия при изменении атмосферного давления АВ.

При AV «^С Vo изменение объема ка­меры практически пропорционально из­менению атмосферного давления.

JLI

В дифференциальном газовом баро­метре системы Д.И. Менделеева (рис. 50, б) изменение атмосферного дав­ления определяется комбинированным методом. Барометр состоит из замкнуто­го сосуда 1, соединенного с давлением ок­ружающего воздуха при помощи V-образ-ного жидкостного манометра 2. Измене­ние атмосферного давления при AF« Vo определяется по формуле

 (5.5)

 = Н • р

Рис 50. Принципиальная схема га­зового барометра

где Н — высота столба жидкости;  р — плотность жидкости, заполняющей мано­метр;   g — ускорение свободного паде­ния; /— площадь сечения манометрической трубки; Fo — объем замкну­того сосуда 1; Во — атмосферное давление при предварительном уравно­вешивании (Я = 0).

Как видно из формулы (5.5), барометр основан на уравновешива­нии изменений атмосферного давления как столбом жидкости, так и сжатием (расширением) газа в замкнутом сосуде по закону Бойля-Мари-отта (5.3). Как и ранее, необходимо тщательное термостатирование со­суда 1 или введение температурной поправки, равной 0,37 % на 1°С.

Следует отметить, что рассмотренные выше газовые барометры в связи с появлением высокоточных деформационных барометров анало­гичного назначения в настоящее время практически не применяются. В отличие от этого в области вакуумных измерений указанный принцип на­ходит широкое применение. Компрессионные („компрессия" — сжатие) и экспансионные („экспансия" — расширение) манометры являются ос­новными средствами воспроизведения и передачи единицы давления в области вакуумных измерений в диапазоне от 10~3 до 103 Па (10"s — 10 мм рт. ст.).

Принципиальная схема компрессионного манометра, представленная на рис. 51, была предложена Мак-Леодом еще в 1874 г. Манометр состоит из стеклянного сосуда 4, в верхнюю часть которого впаян измеритель­ный капилляр 3. По трубке 1 сосуд 4 сообщается с вакуумной системой,

5.1. Косвенные методы, основанные на уравнении состояния идеального газа

в которой измеряется дав­ление газа. Заполненный ртутью резервуар 7 присо­единен к прибору гибким шлангом 6 и трубкой 5. Па­раллельно измерительному капилляру 3 к трубке 1 припаян сравнительный ка­пилляр 2.

Перед измерением дав­ления р в вакуумной систе­ме резервуар 7 опускается до тех пор, пока мениск ртути в трубке 5 не распо­ложится ниже уровня I—I (рис. 51, а). При этом дав­ление газа в сосуде 4 будет равно давлению в вакуум­ной системе. Ввиду малос­ти измеряемого давления высота столба ртути Я прак­тически соответствует ат­мосферному давлению В, действующему на поверх­ность ртути в резервуаре 7, причем высота столба рту-Рис. 51. Принципиальная схема компрессионного  ти не
изменяется, т. е. при

манометра

 любом положении резерву­ара   остается   постоянной. При измерении давле­ния ртуть посредством подъема резервуара достигает уровня I—I и отсо­единяет сосуд 4 от вакуумной системы. Дальнейший подъем ртути про­изводят до совмещения мениска ртути в капилляре 3 с нулевой отмет­кой (рис. 51, б). При этом в соответствии с законом Бойля-Мариотта (5.3) давление в незаполненной части капилляра 3 станет равным

•р,

где V — объем сосуда 4 вместе с капилляром;

 VK =

(5.6) • / — объем

части капилляра, расположенной выше нулевой отметки; lad — длина и диаметр внутреннего сечения капилляра.

Принимая во внимание, что давление р в вакуумной системе при этом не изменяется, получим

vjv

(5.7)

• h • р • g,

1 — VJV

где h — разность уровней ртути в капиллярах 2 и 3.

Отсюда следует, что чувствительность манометра тем больше, чем меньше отношение VK/V или больше отношение V/VK. Однако суще­ствуют определенные ограничения. Так, внутренний диаметр капилляра dmin — 0,5 мм, исходя из условий получения отверстия правильной ци­линдрической формы по всей длине канала, а с другой стороны, объем сосуда Vmax = 500—1000 см3, так как при этом масса заключенной в нем ртути составит т = 7—14 кг, что лимитирует, исходя из соображений, прочность сосуда. Поэтому, как правило, V/VK < (2,5—5) • 104.

Экспансионные манометры (установки с калиброванными объема­ми) в отличие от компрессионных основаны на понижении известного давления от требуемого значения. Для этого в сосуде с относительно не­большим объемом Vi создается давление, достаточное для точных изме­рений.

Затем с помощью вентиля этот сосуд соединяется с предварительно откачанным сосудом, объем которого V2 существенно больше объема Vi. При этом согласно (5.5) давление понизится в отношении начального и конечного объемов

р*т-фгтр1^х"Р1′                               (5-8)

Установки с компрессионным и зкспансионным манометрами, до­полняя друг друга, обладают наивысшей в области вакуумных измере­ний точностью. Они включены в состав государственного специального эталона в области низких абсолютных давлений (от 10~8 до 103
Па), а также в национальные эталоны других стран.

Для определения давления применимо также уравнение состояния газа при постоянном объеме (изохорический процесс). В этом случае уравнение состояния (5.2) принимает вид (закон Шарля, 1787 г.)

р=к-Т,                                   (5.9)

,         m-R
где к =—— постоянная.

м V

Из уравнения (5.9) следует, что при постоянной массе газа и неиз­менном объеме давление газа прямо пропорционально его абсолютной температуре. Однако, несмотря на предельную простоту метода, его реа­лизация связана с необходимостью применения довольно сложных ав­томатических систем для приведения температуры в соответствие с из­меряемым давлением, что осложняется инерционностью процесса нагре­ва (охлаждения) газа. Поэтому этот метод практического применения не нашел.

Контрольный вопрос № 9

Относится ли по принципу действия компрессионный ртут­ный манометр к жидкостным манометрам? Да или нет? Если „да", то см. с. 121, если „нет" — см. с. 123.